型號：CRF-APO-RP1020-D

等離子電源：CRF-APO-RP1020-D

等離子功率：600-1000W/25KHz（Option）

噴槍型號：旋噴式：20-80mm（Option）

功率因素：0.98

電源重量：11KG

型號：CRF-USC 0200

工作電壓：三相380V 50HZ

工作環境：干燥無塵車間

除塵有效寬幅：100-700mm

變頻器設定頻率：0~ 60HZ

變頻器實時頻率：0~ 60HZ

型號：CRF-WBO-RO1200

等離子微波源：2.45GHz，0-1250W

負載冷卻方式：循環水冷

真空泵：雙級旋葉泵+羅茨泵

設備控制方式：PLC+PC

工藝氣體：2路氣體可選（CF4,SF6,O2,Cl2,BCI2等）

型號：CRF-APO-500W-C

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：2set*1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：50-500mm（Option）

處理速度：0-5m/min

型號：CRF-VPO-8L-S

外接電源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

射頻電源功率：600W/13.56MHz

腔體容量：80L(可定制)

腔體層數：8層(可定制)

工作氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

型號：CRF-APO- 500W-XN

外接電源：380V/AC,50/60Hz

等離子功率：10KW(Max)/ 40KHz(Option)

處理高度：3-8mm(MAX)

處理寬幅：120-1200mm(Option)

工作氣體：N2/N2+CDA